高純氦氣是由99.8%的惰性氣體和0.2的高沸點雜質組成。這種氣流經過特殊設備，用化學的方法除去其中的水、二氧化碳等對人體有害的氣體后可得到高達7個九（即99．
９％）以上的超高清潔度標準的工業用的性質穩定的大分子團單原子氣體；其主要用途是作為新一代超潔凈顯示技術和半導體工藝中的新型熱沉基質材料和高精度光學透鏡材料的成份充填物以及用于低速冷凍機及手術制冷等領域。
六氟化硫（SF6）是一種無色、不燒的氣體，化學穩定性非常好。它是在20世紀50年代由美國通用電氣公司實驗室的研究人員發現的。
在高壓電器中，由于其良好的絕緣性能和密封性而得到廣泛應用。此外，它在高溫下可以分解出氧或氫氣，因此常用于滅火器制造泡沫橡膠隔熱材料等行業中。的是，它是迄今為止的鹵素氣體之一，因為它具有良好的電弧穩定性和優異的耐臭氧能力。這些特性使得其在現代電力工業中被廣泛應用于斷路器和變壓器等領域作為滅弧介質與絕緣劑。
工業氣體是指在工業化過程中產生的各種氣態物質，包括氧氣、氮氣等基本元素以及二氧化碳、氫氣等多種化合物。這些物質的用途非常廣泛且多樣化：例如在化工行業中作為原料或溶劑；行業中的呼吸和劑使用；鋼鐵冶煉過程中的氧化燒爐等等都離不開它們的支持作用。
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